聚合物作为分散稳定剂，确保研磨液中的颗粒均匀分散，防止团聚有机分子作为腐蚀抑制剂，保护硅片或其它衬底材料不受过度腐蚀同时作为杀菌剂，防止研磨液中的微生物污染酸作为螯合剂，与金属离子结合，防止金属离子对抛光过程的干扰同时作为pH调节剂，维持研磨液的酸碱度稳定分析研磨液添加剂。Meta分析结果显示超声波洁治后抛光措施...