抛光垫作为CMP工艺的核心，其性能直接影响工艺效果抛光液抛光垫抛光浆料是硅晶圆及芯片处理的关键消耗品，其中抛光垫扮演着技术核心和价值核心的角色抛光垫通过储存和输送抛光液，维持化学环境的均匀性，确保抛光过程的顺利进行微孔结构有助于收集加工物，传送抛光液，并保证化学反应的高效进行表面；化学机械抛光CMP是芯片制造中关键...