抛光磨片的成分是什么

　　本文汇总蚀刻减薄企业中现有一些在面板或玻璃单面抛光过程中氧化铈抛光垫的常见更换、清洗等流程，供大家学习参考。

　　所用主要工具和物料：

　　工具

　　1、塑料毛刷

　　2、美工刀

　　3、塞尺

　　4、水平尺

　　5、橡胶锤

　　6、修整盘

　　物料：

　　1、氧化铈抛光垫

　　2、丙酮

　　氧化铈抛光垫的更换

　　更换标准：由于根据不同开槽要求，实际使用中氧化铈抛光垫有多种开槽方式，在现有减薄抛光企业中多数使用开方块槽。按方块槽抛光垫情况，当整张抛光垫50%区域凸起方块损耗达3/4时，可更换抛光垫。另外，按开槽深浅，可参考50%区域氧化铈抛光垫槽深小于0.2mm时也可考虑更换抛光垫。

　　更换操作方法：

　　1、旧抛光垫拆除和机台残胶清理

　　1）操作抛光机摆臂移动抛光盘至适当位置，用刀片等工具将抛光垫轻撬起一角，双手拿住撬起的抛光垫部分，并施力将抛光垫撕下去除。

　　（撕去旧抛光垫）

　　2）拆除抛光垫后，先用水枪喷水以毛刷清除盘面的研磨粉。若盘面有难去除的残胶，可使用无水酒精或丙酮溶液涂抹盘面，再用刮刀等工具来除去。其中，若是中间供应抛光液模式机台，注意勿将残胶等杂质流入中央供应口和抛光液导槽中。

　　（涂抹无水乙醇或丙酮和清理）

　　（使用空气枪将盘面吹干）

　　2、新抛光垫的粘贴

　　若抛光机台盘面较大，需要多张氧化铈抛光垫拼接使用。

　　以下定盘粘贴抛光垫为例，先将需要更换新抛光垫放置于下定盘上，划分好粘贴尺寸。

　　粘贴流程：

　　1）撕开抛光垫背胶保护纸约50mm~100mm，观察抛光垫相对盘面是否左右对称，将抛光垫先粘盘面一角。其中注意保持抛光垫的边缘和盘面边缘约有5mm左右，以利于切割抛光垫。

　　2）用一只手压住要粘贴在盘面的抛光垫部分，同时另一只手撕去抛光垫背胶保护纸，均匀粘贴，直至将整张抛光垫粘贴完成。

　　3）对粘贴好的抛光垫进行检查，看是否有鼓起部分。若发现鼓起，可用钢针等细小工具刺穿已粘贴抛光垫，放出空气并压平。

　　抛光垫的切割和修整清洗

　　1）用美工刀沿盘面边缘，以刀片与盘面成60度角左右，将多余的抛光垫割除。对于中间供液的抛光机，还应将中心供应液口处抛光垫去除。

　　2）抛光垫切割粘贴完成后，用磨棒的工具对抛光垫边缘进行打磨平滑，防止毛刺等不规则边角导致后续可能产生产品抛光作业风险。打磨平滑后用橡胶锤将抛光垫四周轻巧捶打，确保该抛光垫周边粘贴严实。

　　3）使用盘面对应尺寸的修整盘对已切割和粘贴好的抛光垫进行修整。

　　修整盘的安装和操作：

　　将上盘下降至水平，离修正盘最高点2-5厘米距离，并移动修整盘与上盘大致对齐，慢慢降下上盘，使其卡入修整盘内。

　　4）手工清洗抛光垫：将抛光机台上盘上升，同时将下定盘转数设置在40rpm左右，用塑料毛刷从抛光垫中心位置起，由内向外圈移动刷洗抛光垫。

　　参考建议：每次修盘后需用塑料刷对抛光垫进行刷洗5~10min。确保抛光垫的毛刺已清洁干净，否则会对产品造成划伤。

　　氧化铈抛光垫正常使用过程中的平整检测和修整情况

　　将水平尺放置抛光盘中间位置位置，如下图用塞尺从左中右三点处测量抛光垫是否平整。

　　测量方法：

　　将塞尺放置于水平尺下方，用手将塞尺适当向外拉，如拉不动则表示该位置平整；略有阻力表示该位置有轻微凹陷；如果很轻松似无阻力，表明此处抛光垫已经发生凹陷较严重的不平整。在测量中发现左中右三处无法一致达到平整时，就需要进行修盘处理。

　　需要抛光垫修整盘情况说明和注意事项：

　　1）左右两边位置塞尺拉不动，而中间位置塞尺略有阻力或没阻力，表示盘面的氧化铈抛光垫成中间凹陷，左右两边高起的状态，需要进行修盘。

　　2）左右两边位置塞尺略有阻力或没阻力，而中间位置塞尺拉不动，表示盘面抛光垫成中间较高，两边较低的状况，需要进行修盘。

　　3）参考建议：保证在抛光盘测量频率在2次/班，发现盘面抛光垫平整度相差30μm时需要修盘处理。

　　4）修整过程中用水枪对抛光盘进行大量冲水，并依次开启下盘旋转及上盘摇摆. 参考修整一般时间控制在5分钟左右一次，待支持盘面检测平整结束修整。

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